SYE6207
半导体制造的表征技术 (Characterization Techniques for Semiconductor Manufacturing)
📘 简介
本课程探索用于半导体制造的各种表征技术，评估器件的质量、性能和可靠性。学生将学习电学、光学、物理和化学表征方法，以及可靠性测试和故障分析。课程通过实际案例和实验练习提供实践机会，帮助学生优化工艺和提升生产良率。
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🎯 学习目标
完成课程后，学生将能够：
✔️ 理解半导体制造中表征技术的基本原理；
✔️ 选择并应用适当的表征技术评估器件质量、性能和可靠性；
✔️ 分析器件性能以优化工艺并提升生产良率；
✔️ 探索可靠性测试和故障分析方法。
📊 评估方式
| 评估项目 | 权重 | 具体描述 |
|---|---|---|
| 📂 期中考试 | 30% | 测试学生对表征技术基本概念的理解。 |
| 📋 作业 | 30% | 提交个人作业，评估学生对课程内容的理解与应用能力。 |
| 📝 期末考试 | 40% | 为时两小时的考试，需获得至少 30% 的分数方可通过。 |
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—— CityU