SYE6205
半导体薄膜工程 (Semiconductor Thin Film Engineering)
📘 简介
本课程是一门高级课程，探讨半导体薄膜的原理、技术及应用。内容涵盖物理气相沉积、化学气相沉积、原子层沉积、分子束外延以及薄膜的特性分析方法，涉及显示器、太阳能电池等设备的应用和挑战，包括缺陷、可靠性及工艺优化。
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🎯 学习目标
完成课程后，学生将能够：
✔️ 理解半导体薄膜工程的基本原理与概念，包括沉积方法、材料及特性分析技术；
✔️ 选择并应用适当的薄膜沉积技术用于特定半导体应用；
✔️ 分析并评估薄膜的性能及特性；
✔️ 应用所学知识解决与薄膜工程相关的实际工程问题。
📊 评估方式
| 评估项目 | 权重 | 具体描述 |
|---|---|---|
| 📋 期中考试 | 30% | 测试学生对半导体薄膜工程核心概念的理解。 |
| 📝 期末考试 | 70% | 为时两小时的考试，涵盖所有课程内容，需获得至少 30% 的分数方可通过。 |
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—— CityU