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BME6005

微系统技术​

📘 简介​

本课程介绍微系统技术的最新知识，涵盖微制造、微机电系统 (MEMS)、传感器与执行器、大规模集成 (VLSI) 和半导体制造。学生将学习基本原理并掌握设计和开发微系统的技能。

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🎯 学习目标​

完成课程后，学生将能够：

✔️ 理解微系统技术与微制造的基本原理；

✔️ 应用微制造工艺设计 MEMS 和传感器；

✔️ 设计与微电子和力学相关的微系统；

✔️ 探讨现代制造技术及其业务应用。

📊 评估方式​

评估项目权重具体描述
📄 作业（两次）50%帮助学生分析和设计实验室微系统应用的能力。
📄 小组项目报告30%通过团队合作完成微系统技术项目。
📄 小组项目展示20%展示并评价不同方法的结果。

💬 课程评价​

✨ 精选评价​

“期待你的评价。”

—— CityU

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