MSE6121
薄膜技术与纳米晶涂层
📘 简介
本课程提供现代薄膜和纳米材料合成技术的基本知识，并教授如何制备具有晶体、纳米晶、非晶态结构的纯材料及其化合物。课程涉及多种薄膜沉积技术的工作原理及其实际应用，强调冷等离子体技术在薄膜制备中的应用。
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🎯 学习目标
完成课程后，学生将能够：
✔️ 解释薄膜和纳米材料的基本生长特性和参数；
✔️ 描述薄膜沉积的基本理论及相关技术，并根据物理和化学原理提供创新解决方案；
✔️ 选择现代沉积与合成技术，并在适当条件下制备不同材料和纳米材料；
✔️ 设计材料合成工艺以形成薄膜和纳米材料，讨论其独特特性及对薄膜生长的影响；
✔️ 解释相关领域的最新设计，讨论薄膜沉积和参数（如等离子体密度、温度、电离过程等）。
📊 评估方式
| 评估项目 | 权重 | 具体描述 |
|---|---|---|
| 📚 测验 | 15% | 短测验评估学生对薄膜技术基本概念的掌握情况。 |
| 📖 期中测试 | 15% | 评估学生对核心知识和薄膜参数的理解能力。 |
| 📖 期末考试 | 70% | 时长为 2 小时的考试，综合评估学生的知识掌握与实际应用能力。 |
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—— CityU